功能平臺(tái)
研發(fā)流片服務(wù)
浙江邁創(chuàng)微電子技術(shù)有限公司擁有一條12英寸的完整后段工藝中試線,具備從研發(fā)到小規(guī)模量產(chǎn)的全套能力,可為合作伙伴提供全方位的流片及工藝開發(fā)服務(wù),通過提升運(yùn)營(yíng)效率,匯聚采購需求,提高議價(jià)能力,顯著降低客戶成本和縮短客戶芯片研發(fā)周期。
服務(wù)項(xiàng)目:
(1)無圖案的介質(zhì)薄膜沉積:如TEOS,SiN,LTO等
(2)無圖案的金屬薄膜沉積:如Ta/TaN,Ti/TiN,Al,Cu,Co,CoFe,Ru等
(3)光刻材料涂布:如光刻膠、BARC、SOC等
(4)無圖案的結(jié)構(gòu)片加工:根據(jù)合作伙伴需求,提供多層膜的結(jié)構(gòu)片加工及在線工藝檢測(cè)服務(wù)
(5)圖案化的結(jié)構(gòu)片加工:根據(jù)合作伙伴需求,提供圖案設(shè)計(jì)、光罩設(shè)計(jì)、圖案化加工及在線工藝檢測(cè)等多種服務(wù)和支持
(6)工藝的平臺(tái)化技術(shù)服務(wù),包括工藝定制、良率提升等。